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石英坩堝生產工藝技術及應用

寫作時間:2014-07-29 瀏覽次數:
一種真空加涂層生產電弧石英坩堝的工藝,設備,及其產品_查詢_下載_檢索: 本發明涉及坩堝制造領域,是一種真空加涂層生產電弧石英坩堝的工藝,設備,及其產品。解決了現有技術坩堝制造工藝無法解決石英坩堝長時間,高溫度,高純度的使用要求問題

一種真空加涂層生產電弧石英坩堝的工藝,設備,及其產品_查詢_下載_檢索:本發明涉及坩堝制造領域,是一種真空加涂層生產電弧石英坩堝的工藝,設備,及其產品。解決了現有技術坩堝制造工藝無法解決石英坩堝長時間,高溫度,高純度的使用要求問題,且存在無法在真空狀態下噴涂均勻形成均勻的高純石英層,無法準確及時分層噴涂等問題,提供一種真空加涂層生產電弧石英坩堝的工藝及設備:將石英砂倒入真空模具內刮出預制的形狀,進入熔制室,開啟真空泵,控制溫度在開始熔制,預熱,通過控制雙斗加料機的兩個料斗,先將把高純的石英砂涂料噴涂到正在融化的石英坩堝內,然后噴涂混合噴涂料,保持溫度時關閉真空泵。通過本發藝和設備生產的石英坩堝在高溫下、長時間的抗變形能力強,耐損耗性強,可以長時間使用。

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石英坩堝的生產工藝及應用條件_銀湖耐材:石英坩堝分透明和不透明兩種,是拉制大直徑單晶硅,發展大規模集成電路必不可少的基礎材料。當今,世界半導體工業發達國家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。現在大多數廠家使用的生產工藝是在普通石英砂溶制的坩堝表面涂上一層二氧化鋇溶液使其形成致密層,其致密層能阻止單晶硅高溫拉制過程中硅與石英坩堝反應提高成晶率。工藝流程是:

高純石英砂→高純石墨模具→真空裝料成型→真空電弧熔制→自然冷卻脫模→石英坩堝初步檢測→冷加工噴砂、切斷、倒角→石英坩堝二次檢測→超凈清洗、超聲、高壓噴淋、自動烘干。加溫烘烤,噴涂→石英坩堝三次檢驗→真空包裝→成品入庫

有的國內石英坩堝生產企業生產中使用的生產設備及工藝技術全部源于上世紀70年代初錦州155廠從引進的生產設備及工藝技術,該項技術設備自動化程度不高,整。

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石英坩鍋生產企業生產技術工藝應用調查:報告名稱中國石英坩鍋市場調查報告(專項)(2014版)報告類型多用戶,行業/市場分析報告發布機構中經國際咨詢聯 系 人田小姐 姜小姐咨詢電話 63260953售后服務一年,目錄范圍之內,免費提供內容補充,數據更新等服務交付時間3-5工作日,特殊要求,另行約定報告定價¥6500.00(電子)¥6800.00(電子+印刷)工作時間周一周日,8:30-23:30第四節 新項目投資推薦區域(或省市)(CMRN 中經縱橫建議)

第七章 石英坩鍋產品市場競爭深度調研節 企業市場結構分析一、市場集中度分析 1、行業集中率(CRn) 2、赫爾芬達爾—赫希曼指數(HHI) 報告名稱中國石英坩鍋市場供需現狀調查報告報告類型。

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