【】鎢化學(xué)機(jī)械研磨方法_
鄧永平-2009[####]一種鎢化學(xué)機(jī)械研磨方法,包括:提供具有介電層的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),在所述介電層中具有開口,在所述開口中和介電層上依次具有金屬阻擋層和鎢金屬層;執(zhí)行階段化學(xué)機(jī)械研磨,去除...[/####] 【】鎢化學(xué)機(jī)械研磨方法及鎢插塞的制造方法_
健 李,鄧永平-2009-被引量:2[####]鎢化學(xué)機(jī)械研磨方法及鎢插塞的制造方法健李鄧永平...[/####] 鎢鋼研磨設(shè)備廠家_鎢鋼研磨設(shè)備廠家/公司/鎢鋼研磨設(shè)備..._
為您找到354條關(guān)于鎢鋼研磨設(shè)備生產(chǎn)商的工商注冊(cè)年份、員工人數(shù)、年?duì)I業(yè)額、信用記錄、主營產(chǎn)品、相關(guān)鎢鋼研磨設(shè)備產(chǎn)品的供求信息、交易記錄等企業(yè)詳情。您還...
研磨生產(chǎn)設(shè)備_
輕質(zhì)碳酸鈣研磨機(jī)械 滑石生產(chǎn)設(shè)備工藝流程 ￥50000.00 / 臺(tái) 上海浦東新區(qū) ...為您提供的研磨生產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)商、經(jīng)銷商、廠家,包括研磨生產(chǎn)設(shè)備的參數(shù)...
內(nèi)外墻干粉生產(chǎn)與配方,金礦提煉黃金的機(jī)器 - 集團(tuán)新聞 - 破碎機(jī)...
1天前-制砂機(jī)械在黑白鎢礦尾礦回收處理中的應(yīng)用下一篇:...金屬硅粉生產(chǎn)線工藝復(fù)雜,主要工藝流程:金屬硅原料...地送入主機(jī)磨室進(jìn)行研磨,粉磨后的粉子被風(fēng)機(jī)...
鎢的二次資源及其開發(fā)前景 -
2014年8月7日-鎢桿的年產(chǎn)量 的處理含鎢廢料選冶聯(lián)合流程,經(jīng)工業(yè)...成 ; < 機(jī)械破碎法 $ 機(jī)械破碎法是一種為簡(jiǎn)單...而 物經(jīng)研磨和篩分后,在管狀爐中在 :"" , $ ...
面向納米材料操控的鎢針制備系統(tǒng)與工藝研究_
香凝-《華中科技大學(xué)》-2016[####]常用的制備方法有研磨法、剪切法、超高真空?qǐng)鲭x子...機(jī)理與關(guān)鍵工藝因素,確定了大長徑比鎢探針制備流程...化大長徑比鎢探針制備裝置,包含機(jī)械位移裝置,電控...[/####] 精品課程 IC原理 第1章 集成電路的基本制造工藝_甜夢(mèng)文庫
2012年9月17日-光刻是集成電路制造過程中復(fù)雜 和關(guān)鍵的工藝之...利用LPCVD淀積鎢來填充通孔。溫度約 300℃。這可以...化學(xué)機(jī)械 研拋光 技術(shù)化學(xué)機(jī)械研磨技術(shù)(化...
金屬鎢化學(xué)機(jī)械研磨清洗缺陷研究及解決方法_論文_
2018年5月13日-金屬鎢化學(xué)機(jī)械研磨清洗缺陷研究及解決方法 - Process and Fabrication 工藝與制造 金屬鎢化學(xué)機(jī)械研磨清洗缺陷研究 及解決方法 雷 (上海華虹宏力半...
單晶金剛石機(jī)械研磨與化學(xué)機(jī)械拋光工藝-納米技術(shù)與精密工程2015年...
2015年3月15日-單晶金剛石機(jī)械研磨與化學(xué)機(jī)械拋光工藝,單晶金剛石;;機(jī)械研磨;;化學(xué)機(jī)械拋光,單晶金剛石在工業(yè)、國防等領(lǐng)域的應(yīng)用日益廣泛,對(duì)其加工表面質(zhì)量的要求不...
碳化鎢研磨機(jī) - 礦山機(jī)械百科
以及獨(dú)特的進(jìn)出料簡(jiǎn)潔流程,的節(jié)能降耗性能,理想...鎢合金焊條用碳化鎢過渡堆焊金屬含鎢,工藝精良脫渣...碳化鎢研磨機(jī) --- 礦山機(jī)械百科 src="/liebiaos/img/mf/869.jpg" />
金屬鎢化學(xué)機(jī)械研磨清洗缺陷研究及解決方法_科技_網(wǎng)
2017年10月14日-雷(上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司,上海 摘要:通過研究金屬鎢化學(xué)機(jī)械研磨(W CMP)后清洗的一種水痕狀的缺陷(Water mark like defect),...
化學(xué)機(jī)械研磨工藝的優(yōu)化方法
本發(fā)明公開了一種化學(xué)機(jī)械研磨工藝的優(yōu)化方法,該方法...采用離子束沉積工藝在SiN的表面形成金屬鎢,然后按照...滿足工藝標(biāo)準(zhǔn),則調(diào)整當(dāng)前的CMP工藝參數(shù),并執(zhí)行步驟A...
混合研磨劑型的鎢化學(xué)機(jī)械拋光組合物
化學(xué)機(jī)械拋光包括鎢層的基板的方法,包括使該基板與上述拋光組合物接觸,相對(duì)于該基板移動(dòng)該拋光組合物,及研磨該基板以從該基板移除一部分所述鎢并從而拋光該基板。...
機(jī)械金工實(shí)習(xí)報(bào)告
2014年12月8日-在鉗工實(shí)訓(xùn)中,我了解了鉗工的方要內(nèi)容是為劃線、鏨削、銼削、研磨、鉆孔、擴(kuò)孔...1. 通過這次實(shí)習(xí)我們了解了現(xiàn)代機(jī)械制造工業(yè)的生產(chǎn)方式和工藝過程。...
鎢電極研磨工藝的機(jī)械化_
蘇曉鷹-《電焊機(jī)》-2004[####]前 言作為重復(fù)性好、高質(zhì)量TIG焊的一個(gè)重要參數(shù),電極加工的重要性常常被人們忽略。可以論證,熔焊重要的因素是熔敷的一致性。盡管焊道的幾何形狀和冶金 特性受很多因...[/####] 【】納米級(jí)鎢鈷混合粉末的生產(chǎn)工藝_
金益民-CN-2005-被引量:5[####]本發(fā)明涉及一種制取納米級(jí)鎢鈷混合粉末的工藝。它主要包括以下連續(xù)步驟:配制一定濃度的偏鎢酸銨溶液,加入一定量的碳酸鈷粉末,加熱、攪拌,充分反應(yīng)后,將所得復(fù)合鹽溶液冷...[/####] 【】一種減少鎢化學(xué)機(jī)械研磨微刮痕的工藝_
明卿-2006-被引量:1[####]一種減少鎢化學(xué)機(jī)械研磨微刮痕的工藝,提供一半導(dǎo)體基底,其制作鎢插塞的主要步驟有光阻涂布、微影,蝕刻,用W CVD方法沉積鎢金屬,用W CMP工藝磨去表面的鎢金屬,完成鎢插塞的...[/####] 金屬鎢化學(xué)機(jī)械研磨清洗缺陷研究及解決方法_
雷-《集成電路應(yīng)用》-2017[####]通過研究金屬鎢化學(xué)機(jī)械研磨(W CMP)后清洗的一種水痕狀的缺陷(Water mark like defect),經(jīng)過一系列的實(shí)驗(yàn),我們發(fā)現(xiàn)這種缺陷產(chǎn)生的原因是具有鎢插塞(W Plug)結(jié)構(gòu)的晶片...[/####] 【】化學(xué)機(jī)械研磨方法 Chemical mechanical poli..._
江志琴-2013[####]本發(fā)明公開了一種化學(xué)機(jī)械研磨方法,用于研磨溝槽上方的金屬,包括主研磨和研磨去除剩余金屬的步驟,當(dāng)溝槽上方金屬厚度大于等于15千埃時(shí),該方法包括:主研磨溝槽上方預(yù)定厚...[/####] 我國鎢工業(yè)科技創(chuàng)新工作的主要課題
2采選 (1)全面提高機(jī)械化程度和裝備水平,廣泛應(yīng)用...(4)分解白鎢礦工藝流程、設(shè)備的研究; (5)含鎢催化...(包括研磨、涂層和其他后處理技術(shù))及其設(shè)備和使用...
粉體工業(yè)中常用的破碎工藝與破碎機(jī)械
粉體工業(yè)中常用的破碎工藝與破碎機(jī)械粉體圈 2016-...(如鎢、錫礦石)和處理黏性含泥物料的中小型選礦廠...上繼續(xù)受到錘子的打擊和研磨,直到破碎所需出料...
研磨機(jī)械_研磨機(jī)械【價(jià)格 圖片】_淘寶網(wǎng)研磨機(jī)械_淘寶網(wǎng)
淘寶網(wǎng)為您找到927件研磨機(jī)械相關(guān)的寶貝。... 研磨機(jī)械”商品 紅丹粉工業(yè)機(jī)床刮研用研磨用紅丹粉機(jī)械磨具用粉包郵0.25公斤 ￥13.00 天上飛的一只鵝月銷: 173 ...
《機(jī)械加工工藝規(guī)程設(shè)計(jì) 》(書+光盤)_林艷華 主編 _孔夫子舊書網(wǎng)
4生產(chǎn)過程與組織8 1 4 1生產(chǎn)過程和工藝過程8 1 4 2生產(chǎn)類型8 1 4 3組織... 鎢化學(xué)機(jī)械研磨方法及鎢插塞的制造方法 232. 由滾軋的...
半導(dǎo)體制程培訓(xùn)cmp和蝕刻pptx -
化學(xué)機(jī)械平坦化 (Chemical‐Mechanical Planarization, CMP) ,又稱化學(xué)機(jī)械研磨(...氧化物磨料金屬鎢磨料金屬銅磨料特殊應(yīng)用磨料 半導(dǎo)體制造工藝流程氧化硅拋光氧化硅...
【】研磨液配制方法、研磨液以及金屬鎢的cmp方法_
彭澎,潘繼崗-2011[####]本發(fā)明公開了一種配制研磨液的方法,將成品研磨液W2000與水按照重量比1∶21∶4范圍內(nèi)的任意比例混合,并向混合物中添加濃度為31%的過氧化氫水溶液,使得終過氧化氫的質(zhì)...[/####] 金屬鎢化學(xué)機(jī)械研磨清洗缺陷研究及解決方法-集成電路應(yīng)用2017年08...
金屬鎢化學(xué)機(jī)械研磨清洗缺陷研究及解決方法,集成電路制造,水痕,化學(xué)機(jī)械研磨,缺陷。通過研究金屬鎢化學(xué)機(jī)械研磨(W CMP)后清洗的一種水痕狀的缺陷(Water mark like...
04-機(jī)械加工工藝.pdf 全文-能源/化工-文檔在線
2015年3月12日-研磨過程中金屬塑性變形小,切削力小、切削熱少,表 變形層薄, 切削運(yùn)動(dòng)復(fù)雜,...· 機(jī)械制造基礎(chǔ) (下冊(cè))——機(jī)械加工工藝基礎(chǔ) 脹開,以便調(diào)整珩磨頭的工...
【】一種層狀增韌鎢及其制備方法_
索進(jìn)平,張穎,劉大為-2015[####]本發(fā)明公開了一種層狀增韌鎢及其制備方法,屬于結(jié)構(gòu)材料領(lǐng)域。層狀增韌鎢包括相互交替層疊的鎢層和增韌層,增韌層包括金屬鉭片。制備該層狀增韌鎢的方法包括:S1將鎢粉在惰...[/####] 鎢鋼研磨設(shè)備廠家_鎢鋼研磨設(shè)備廠家/公司/鎢鋼研磨設(shè)備..._
為您找到357條關(guān)于鎢鋼研磨設(shè)備生產(chǎn)商的工商注冊(cè)年份、員工人數(shù)、年?duì)I業(yè)額、信用記錄、主營產(chǎn)品、相關(guān)鎢鋼研磨設(shè)備產(chǎn)品的供求信息、交易記錄等企業(yè)詳情。您還...
